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本期期刊

2018年05月07日

製程管控中的先進課題

上一期探討製程管控中的10個基本事實之後,本期的Process Watch系列文章將著重介紹製程管控的其他趨勢,其中包括成功的實施策略及其為IC製造帶來的優勢。通過了解製程管控的本質,代工廠可以更好地實施策略,以識別關鍵缺陷、發現偏移並減少變異來源。
這些文章涉及不同的課題:代工廠所發現的減少環境影響的方式;在製程管控中增加的用以縮短製程週期的非直觀步驟;檢測和糾正微小製程偏移的成本效益;將在線量測/檢測結果與EOL產量相關聯;以及計算需要收集多少檢測資料可以確定新製程是否可以減少微粒數量。

這些Process Watch的系列文章最初發表於Solid State Technology