本期期刊 | Current Issue 本期期刊 | Current Issue 本期期刊 | Current Issue 本期期刊 | Current Issue 本期期刊 | Current Issue 本期期刊 | Current Issue 本期期刊 | Current Issue 本期期刊 | Current Issue 本期期刊 | Current Issue 本期期刊 | Current Issue

本期期刊

2018年05月07日

制程控制中的进阶课题

上一期探讨制程控制的10个基本法则之后,本期的Process Watch系列文章将着重介绍制程控制的其他趋势,其中包括如何成功的实施制程控制策略进而为IC制造带来优势。通过了解制程控制的本质, 晶圆厂可以更好地实施控制策略,辨别关键缺陷、发现制程过程偏移并进一步减少造成偏移的因素。本期系列文章将涉及不同的课题:晶圆厂针对减少环境因素的影响所发展出的应对方法;并非显而易见的事实是增加制程中的控制步骤反而会帮助缩短制程周期; 检测和纠正微小制程偏移的成本效益;在线量测/检测结果与EOL良率的相关性; 以及为了确定新制程步骤是否可以减少颗粒缺陷所需的检测数据量。

这些Process Watch文章最初发表于Solid State Technology